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高端電子工藝裝備

【1】集成電路裝備

產業介紹: 電控公司的集成電路裝備以七星電子(北方微)(A股代碼: 002371)為載體,借助上市平臺和國家重大科技專項加快產業發展,產品以集成電路設備為主,并結合市場需求向光伏、先進封裝、LED、MEMS、光波導、功率器件和化合物半導體等應用領域拓展。七星電子(北方微)先后承擔11項國家重大科技02專項,技術水平快速提升,填補了國內12英寸高端刻蝕機、PVD、CVD、氧化爐、清洗機等設備技術空白,大部分產品實現了28nm的產業化認證,刻蝕機、PVD已開始14nm技術的研發。 

12英(ying)(ying)寸28nm刻蝕機、PVD、氧化爐等(deng)設(she)備(bei)(bei)均(jun)已(yi)(yi)進入了國(guo)內知(zhi)名集(ji)成電路制造企業(ye)大(da)生產線,多款產品已(yi)(yi)成為LED、先進封裝(zhuang)、MEMS等(deng)泛半導體領的(de)主流產品,市場開拓工作成效顯著。其中12英(ying)(ying)寸、28nmHardMask PVD設(she)備(bei)(bei)及12英(ying)(ying)寸55nm硅刻蝕設(she)備(bei)(bei)已(yi)(yi)作為中芯國(guo)際的(de)Baseline設(she)備(bei)(bei)。

重要產品: 刻蝕設備(Etch)、化學氣相沉積設備(CVD)、物理氣相沉積設備(PVD)立式爐、LPCVD、超精細清洗機、ALD設備。 

 

【2】鋰電裝備

亞博(bo)游(you)戲可(ke)提(ti)供全(quan)套的鋰離子電池極片生產所(suo)需的攪拌、涂布、輥壓、分切設備。

 

成(cheng)功(gong)研制(zhi)大容量(liang)的(400L、600L、800L、1000L、2000L)攪(jiao)拌(ban)設備,已(yi)掌握自動(dong)上料(liao)(liao)技術(shu)(shu)、攪(jiao)拌(ban)過程程序化控制(zhi)、攪(jiao)拌(ban)料(liao)(liao)評(ping)價等技術(shu)(shu);成(cheng)功(gong)開(kai)發(fa)出(chu)(chu)了(le)擠出(chu)(chu)式涂(tu)(tu)布設備,涂(tu)(tu)布速度10-20m/min(最(zui)高(gao)達到(dao)30m/min)。成(cheng)功(gong)開(kai)發(fa)出(chu)(chu)了(le)液(ye)(ye)壓(ya)伺(si)(si)服輥壓(ya)設備,極片軋制(zhi)速度達到(dao)20-30m/min(最(zui)高(gao)達到(dao)60m/min),掌握了(le)極片熱軋技術(shu)(shu)、輥電鍍技術(shu)(shu)、AGC液(ye)(ye)壓(ya)伺(si)(si)服控制(zhi)型等核心技術(shu)(shu)。

 

分(fen)切設備可分(fen)切卷材寬度達(da)700mm,生產效率(lv)達(da)到50m/min(最高水平達(da)到80m/min),并開(kai)發了設備CCD測控系統降(jiang)低了產品廢品率(lv)。于此同時,成功的搭(da)建了20000Ah鋰離(li)子動力(li)電池(chi)中試(shi)線(xian)(xian),為自產設備提供(gong)了工藝驗證平臺,具(ju)備提供(gong)整線(xian)(xian)解決方案的能力(li)。